中文名称：硅片径向电阻率变化的测量方法

英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

标准号：GB/T 11073-2007

标准类型CN

发布日期：2007-9-11

实施日期：2008-2-1

摘要：本标准规定了用直排四探针法测量硅片径向电阻率变化的方法。

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