中文名称：掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

英文名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped,phosphorus-doped,and arsenic-doped silicon

标准号：GB/T 13389-2014

标准类型CN

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-9-1

摘要：

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