中文名称：硅单晶中碳、氧含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法

英文名称：Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

标准号：GB/T 35306-2017

标准类型CN

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-7-1

摘要：

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