中文名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范

英文名称：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)

标准号：GB/T 24468-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-15

实施日期：2009-12-1

摘要：本标准修改采用SEMI E10-0304:2004《设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范》。本标准通过提供半导体制造设备（以下简称设备）在制造环境下的可靠性、可用性和维修性（以下简称RAM）性能的测量标准，为这种设备的用户和设备供应商建立一个交流的共同基础。

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