中文名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

英文名称：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

标准号：GB/T 24575-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-6-1

摘要：本标准规定了硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法，本标准适用于用二次离子质谱法（SIMS）检测镜面抛光单晶硅片和外延片表面的Na、Al、K和Fe每种金属总量。本标准测试的是每种金属的总量，因此该方法与各金属的化学和电学特性无关。

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