中文名称：热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

英文名称：Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

标准号：GB/T 24577-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-6-1

摘要：本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法，采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。

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