中文名称：硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

英文名称：Test method for measuring surface metal contamination on silicon wafers by total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

标准号：GB/T 24578-2015

标准类型CN

发布日期：2015-12-10

实施日期：2017-1-1

摘要：

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