GB/T 24581-2009低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
中文名称:低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
英文名称:Test method for low temperature FT-IR analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
标准号:GB/T 24581-2009
标准类型CN
发布日期:2009-10-30
实施日期:2010-6-1
摘要:电子级多晶硅生产者和使用者都可采用LTFT-IR光谱来对多晶硅进行质量保证和研发目的的测量。
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