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GB/T 14139-2009硅外延片

中文名称:硅外延片

英文名称:Silicon epitaxial wafers

标准号:GB/T 14139-2009

标准类型CN

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-6-1

摘要:本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N+)和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。

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