中文名称：半导体材料术语

英文名称：Semiconductor materials—Terms and definitions

标准号：GB/T 14264-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-6-1

摘要：本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。 本标准适用于元素和化合物半导体材料。

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