中文名称：真空技术　溅射离子泵　性能参数的测量

英文名称：Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics

标准号：GB/T 25755-2010

标准类型CN

发布日期：2010-12-23

实施日期：2011-10-1

摘要：本标准规定了溅射离子泵性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10Pa到1×10Pa。

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