中文名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

英文名称：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

标准号：GB/T 1554-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-6-1

摘要：本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。

>> 更多信息及订购