中文名称：硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

英文名称：The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption

标准号：GB/T 1557-2006

标准类型CN

发布日期：2006-7-18

实施日期：2006-11-1

摘要： 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室外温电阻率大于 的型硅单晶中间隙氧含量的测量。本标准测量氧含量的有效范围从到硅中间隙氧的最大固熔度。

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