中文名称：硅片切口尺寸测试方法

英文名称：Standard test method for dimensions of notches on silicon wafers

标准号：GB/T 26067-2010

标准类型CN

发布日期：2011-1-10

实施日期：2011-10-1

摘要：本标准定性的提供了判定硅片基准切口是否满足标准限度要求的非破坏性测试方法。本方法的测试原理同样适用于其他切口尺寸的测量。

>> 更多信息及订购