中文名称：硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

英文名称：Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers by non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance

标准号：GB/T 26068-2010

标准类型CN

发布日期：2011-1-10

实施日期：2011-10-1

摘要：本方法适用于测量均匀掺杂、经过抛光处理的n型或p型硅片的载流子复合寿命。本方法是非破坏性、无接触测量。在电导率检测系统的灵敏度足够的条件下，本方法也可应用于测试切割或者经过研磨、腐蚀硅片的载流子复合寿命。

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