中文名称：硅退火片规范

英文名称：Specification for silicon annealed wafers

标准号：GB/T 26069-2010

标准类型CN

发布日期：2011-1-10

实施日期：2011-10-1

摘要：本规范规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、测试方法、检验规则等。本规范适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。

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