中文名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

英文名称：Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron

标准号：GB/T 4060-2007

标准类型CN

发布日期：2007-9-11

实施日期：2008-2-1

摘要：本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的检验。

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