中文名称：离子束蚀刻机通用规范

英文名称：General specification of ion beam etching system

标准号：GB/T 15861-2012

标准类型CN

发布日期：2012-11-5

实施日期：2013-2-15

摘要：本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。 本标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其它专用离子束蚀刻机亦可参照执行。

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