中文名称：用于集成电路制造技术的检测图形单元规范

英文名称：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

标准号：GB/T 16878-1997

标准类型CN

发布日期：1997-6-20

实施日期：1998-3-1

摘要：

>> 更多信息及订购