GB/T 5252-2006锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
中文名称:锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
英文名称:Germanium monocrystal—Inspection of dislocation etch pit density
标准号:GB/T 5252-2006
标准类型CN
发布日期:2006-7-18
实施日期:2006-11-1
摘要:本标准适用于位错密度0 --100000的型和型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量。观察面为[111]、[100]和[113]面。
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