中文名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法　硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定　电感耦合等离子体质谱法

英文名称：Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method

标准号：GB/T 29056-2012

标准类型CN

发布日期：2012-12-31

实施日期：2013-10-1

摘要：本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪测定硅外延用SiHCl3中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。

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