中文名称：硅抛光片表面质量目测检验方法

英文名称：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

标准号：GB/T 6624-2009

标准类型CN

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-6-1

摘要：本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。

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